對(duì)于長(zhǎng)330mm的研磨平尺，可用210mm的長(zhǎng)平晶在平面等傾干涉儀以及分段法檢定。只能檢測(cè)300mm長(zhǎng)度，分0至180mm、90mm~270mm、120mm~300mm三次測(cè)量。每次測(cè)量180mm長(zhǎng)的7個(gè)測(cè)點(diǎn)，共得21個(gè)讀數(shù)，按照下述方法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
    1、檢定0至180mm間各點(diǎn)對(duì)0至180mm兩點(diǎn)連線的偏差，按照（4-6）參考長(zhǎng)平晶平面度偏差，計(jì)算這180mm長(zhǎng)度各測(cè)點(diǎn)對(duì)0和180mm兩點(diǎn)連線的偏差。
    2、檢定90-270mm間各點(diǎn)對(duì)90mm和270mm兩點(diǎn)連線的偏差，按照（4-6）且考慮長(zhǎng)平晶平面度偏差，計(jì)算這180mm長(zhǎng)度上各測(cè)點(diǎn)對(duì)90mm和270mm兩點(diǎn)連線的偏差。
    3、檢定120mm至300mm間各點(diǎn)對(duì)120mm和300mm兩點(diǎn)連線的偏差，按照（4-6）且考慮長(zhǎng)平晶平面度偏差，計(jì)算這180mm長(zhǎng)度上各測(cè)點(diǎn)對(duì)120mm和300mm兩點(diǎn)連線的偏差。
    4、計(jì)算0至270mm間各點(diǎn)對(duì)0和270mm兩點(diǎn)連線的偏差，與計(jì)算長(zhǎng)300mm研磨平尺方法完全相同。
    5、計(jì)算0至300mm間各點(diǎn)對(duì)0和300mm兩點(diǎn)連線的偏差，計(jì)算方法是：在120mm至300mm測(cè)量段內(nèi)，以120mm和270mm兩點(diǎn)的連線為基準(zhǔn)，并延長(zhǎng)至300mm，得到300這點(diǎn)對(duì)此連線的偏差。這點(diǎn)偏差與在0至270mm測(cè)量段內(nèi)測(cè)量結(jié)果中，連接120mm和270mm兩點(diǎn)并延長(zhǎng)至300mm得到的300mm這點(diǎn)對(duì)120mm和270mm連線的坐標(biāo)值疊加起來(lái)，得到300mm這點(diǎn)偏差，即可求得0至300mm間各點(diǎn)對(duì)0至300mm間各點(diǎn)對(duì)0和300mm連點(diǎn)連線的偏差，其偏差的正負(fù)最大絕對(duì)值之和即為被測(cè)研磨平尺直線度誤差值。