鑄鐵平板等平直度量具平面度誤差的測量器具通常有兩大類：一類是水平儀，另一類是準(zhǔn)直儀。水平儀類按其工作原理分為水準(zhǔn)器式水平儀和電子水平儀兩種，水準(zhǔn)器式水平儀又分為鉗工水平儀、框式水平儀和合像水平儀三種?？蚴剿絻x示值誤差為標(biāo)稱分度值（0.02mm/m-0.5mm/m）與實(shí)際平均分度值之差不應(yīng)超過標(biāo)稱分度值的10%；標(biāo)稱分度值與任意一個實(shí)際分度值之差不應(yīng)超過標(biāo)稱分度值的10%；標(biāo)稱分度值與任意一個實(shí)際分度值之差不應(yīng)超過標(biāo)稱分度值的20%。合像水平儀的示值誤差在全部測量范圍內(nèi)不大于+-0.02mm/m，在市值范圍中的+-1mm/m范圍內(nèi)不超過+-0.01mm/m.電子水平儀有水平式和鉛垂式兩種，水平式電子水平儀的分度值和量程一般有兩檔，分度值為1＇＇及２＇＇的量程分別為＋－２０＇＇及＋－４０＇＇，示值誤差小于分度值；鉛垂式電子水平儀的分度值和量程有三檔，分度值為２＇＇、４＇＇、２０＇＇時，其量程分別為＋－５０＇＇、＋－１００＇＇、+-8＇＇，示值誤差小于分度值。
    準(zhǔn)直儀是一種高靈敏度的精密測角儀器。常用的準(zhǔn)直儀有光學(xué)平直儀、自準(zhǔn)直儀和光電自準(zhǔn)